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ソラリスのミミズ型管内走行ロボット「Sooha」国内大手半導体メーカーに導入 複雑配管の予防保全を実現 2026.5.22 Fri 11:30 ソラリスは、国内大手半導体メーカーに対し、ミミズ型管内走行…