ソラリスは、国内大手半導体メーカーに対し、ミミズ型管内走行ロボット「Sooha」を導入したと発表した。導入先の製造拠点では2026年2月より、半導体装置配管の予防保全型メンテナンスへの活用が始まっており、生産現場の安定稼働強化を目指す姿勢だ。
Soohaは、中央大学中村研究室の研究成果に基づく空気圧人工筋肉技術を応用したソフトロボットだ。ミミズの移動様式を模倣した構造により、小口径配管内での自立走行を実現している。
半導体配管が抱える「見えない」課題
半導体製造プロセスでは、装置配管内に生成物が堆積しやすく、装置故障や生産ライン停止といった突発トラブルのリスクが常に存在する。工場内の配管は複雑な曲げ箇所や高所が多く、従来の点検手法では内部状態の確認が困難な箇所も多かった。
導入先の製造部門担当者は「物理的な制約から配管を外すことができず、内部の状態を確認することも困難な箇所が多々ある。Soohaを活用することで、これまで手の届かなかった部分のケアが可能になる点に大きなメリットを感じ、導入を決定した」とコメントしている。
半導体業界を超えた展開へ
Soohaによる定期的なモニタリングと清掃を通じ、突発トラブルの削減とメンテナンス工数の効率化、工場全体の生産体制強化を図る。
ソラリスは今後、導入効果を定量的に測定しながら持続的な配管メンテナンス体制の構築を継続支援するとともに、本事例で得た知見を活かし、半導体業界をはじめ複雑な配管維持管理に課題を抱える幅広い産業分野へのサービス展開を加速させる方針だ。
ソラリスは2017年に中央大学の中村太郎教授と法政大学の山田泰之教授が設立。独自のソフトロボティクス・人工筋肉技術をコアに、都市や工場に張り巡らされた小口径配管のメンテナンス課題に取り組んでいる。
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