住友重機械工業は、グループ会社であるSumitomo Cryogenics of America, Inc.の米国カリフォルニア州サンノゼ事業所内に、Semiconductor Subsystems and Components R&D Center（以下「同センター」）を2026年5月に開設した。
半導体・ロボティクス分野の競争力強化を目的に設立
同社は「半導体」および「ロボティクス・自動化」分野を重点投資領域と位置づけ、競争力強化に取り組んでいる。同センターは、精密ステージ、モーションコンポーネント、ロボット技術に関して、米国の半導体装置メーカーや研究機関（以下「米国パートナー」）との共創・協働を推進するための拠点として開設された。
米国パートナーとの連携を通じ、次世代半導体製造装置向け技術の高度化、アプリケーション領域の拡大、顧客課題の早期解決を図るとともに、パートナーシップの強化と新たな事業機会の創出を目指す。
ナノメートル級評価が可能なクリーンルームを完備
同センターの所在地は121 Daggett Drive San Jose CA, 95134, USA。施設の中核となるクリーンルームは面積1650sqft（150m2）で、米国連邦規格（Federal Standard）209Eに準拠したClass 100のクリーン度を確保している。
さらに振動環境はVC-Eランクに対応しており、これは最先端ナノ加工にも適用可能なレベルだ。VCランクはIEST-RP-CC024で推奨される基準に基づき、対象場所が装置の振動許容範囲に適合しているかを定量的に評価するものである。
この環境により、ナノメートル級の位置決め評価や動特性解析など、次世代半導体製造装置に求められる高度な技術検証を実施できる。米国パートナーと連携した製品開発・評価の加速が期待される。
